캡스톤 (3) 썸네일형 리스트형 [캡스톤] Spin coating (pt.2) 포토공정에서 사용되는 spin coating 장비를 구현해보고자 한다. wafer의 이동을 담당하는 스텝모터와 서보모터 / 진공모터에서 발생하는 진동을 잡는 것이 이번 프로젝트에 키포인트였다. 진공을 분산시켜주기 위해, 진동흡착판, 스위치가 달린 서보모터, 고무관, 고무링을 사용해주었다. 사진 사용한 4핀은 2ball bearing이 사용된 모델로 공기가 세어나가는 부분을 차단하기 위해 스피링을 실리콘 와셔로 변경해 진공이 최대로 진행될 수 있도록 해주었다. fan 프로펠러의 중심부에 외경 약 1mm의 관을 연결해 이 관과 진공모터가 연결되게 된다. 사진 초기에 사용하던 진공모터 스펙 후에 변경한 진공모터 스펙 초기에 사용했던 모터의 성능 부족으로 인해 휴지 이외의 wafer 혹은 종이로 제작한 wafe.. [캡스톤] Spin coating (pt.3) 포토공정에서 사용되는 spin coating 장비를 구현해보고자 한다. https://youtu.be/eBkBhtBp8jY fan의 RPM 출력과 진공모터와의 연결이 완료되면 spin coating을 진행해주어야한다. PR 대체제로 점도성이 있는 용액을 만들어 진행했다. 물 : 감자전분 : 물감 = 4 : 5 : 0.8 비율로 제작하였다. PR 점성 테스트 wafer위 PR 도포 테스트 PR 도포 테스트까지 완료후, 3개의 아두이노보드를 연결해준다. 최종 영상 [캡스톤] Spin coating (pt.1) 포토공정에서 사용되는 spin coating 장비를 구현해보고자 한다. https://youtu.be/eBkBhtBp8jY 참고자료: https://hackaday.io/project/107598-semiconductors-home/log/150280-you-spin-me-right-round-baby You spin me right round, baby. | Details | Hackaday.io I finally got into building the spin coater for the project, however, even I was surprised about the way things went. All I knew is that I wanted a small spin coater, someth.. 이전 1 다음
