[캡스톤] Spin coating (pt.3)

포토공정에서 사용되는 spin coating 장비를 구현해보고자 한다. 

https://youtu.be/eBkBhtBp8jY

 

---

 

 

fan의 RPM 출력과 진공모터와의 연결이 완료되면 spin coating을 진행해주어야한다.

 

PR 대체제로 점도성이 있는 용액을 만들어 진행했다.

 

물 : 감자전분 : 물감 = 4 : 5 : 0.8

비율로 제작하였다.

 

 

 

PR 점성 테스트

 

 

 

 

 

wafer위 PR 도포 테스트

 

 

 

PR 도포 테스트까지 완료후, 3개의 아두이노보드를 연결해준다.

 

 

 

최종 영상